| 热发射电子源、扫描电镜、栅极调节方法、装置和介质 |
| CN202211115510.4 2022-9-14 发明申请 |
| 2022-12-20 |
| 本申请公开了一种热发射电子源、扫描电镜、栅极调节方法、装置和介质。热发射电子源包括阳极、阴极和栅极，栅极位于阳极和阴极之间，栅极的电压根据发射电压和预设映射关系调整，其中，预设映射关系表示发射电压和栅极的电压的对应关系，发射电压包括阳极的电压与阴极的电压之间的电压差。本申请实施方式的热发射电子源，能够根据发射电压，调整栅极的电压至与发射电压相适应的值，从而使得束流较小的同时，保障电子束的亮度，降低电子束相互作用引起的能散，降低空间电荷效应对电子束亮度的影响，平衡电子束的亮度和能散，优化了各种发射电压下的分辨率和信噪比。 |
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