| 扫描电镜物镜 |
| CN202211113845.2 2022-9-14 发明申请 |
| 2022-12-20 |
| 本发明公开了一种扫描电镜物镜，所述扫描电镜物镜包括：物镜上极靴组件，所述物镜上极靴组件具有中空腔和第一连接口，所述中空腔内设有真空管，所述真空管用于与电子束发生腔室连通，所述真空管的端部伸至所述第一连接口处，所述第一连接口设有第一光阑；物镜下极靴，所述物镜下极靴设有第二连接口，所述第二连接口用于与样品室的内部空间连通，所述第二连接口设有第二光阑；所述物镜上极靴组件与所述物镜下极靴之间形成有夹层腔，所述第一光阑和所述第二光阑均设有与所述夹层腔连通的光阑孔，所述夹层腔具有抽真空口。本发明的扫描电镜物镜，在物镜上极靴组件与物镜下极靴之间形成可抽真空的夹层腔，利于增大真空管与样品室的内空间的气压差。 |
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