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产业专利数据

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扫描电镜及其控制方法、控制装置和存储介质

CN202211287824.2 2022-10-20 发明申请

2022-12-20

本申请公开了一种扫描电镜及其控制方法、控制装置和存储介质。扫描电镜包括电子源、物镜和偏转模组。控制方法包括根据电子束的偏转角度，确定目标焦距；根据目标焦距，调整物镜的焦距至目标焦距。上述控制方法能够根据电子束的偏转角度，确定目标焦距并根据目标焦距调整物镜的焦距，使得物镜的焦点一直位于样品上，避免由于焦点与样品之间具有偏差导致图像分辨率不高的问题。