| 电子束聚焦光阑及扫描电子显微镜 |
| CN202220762835.0 2022-4-2 实用新型 |
| 2022-12-16 |
| 本实用新型公开了一种电子束聚焦光阑及具有该光阑的扫描电子显微镜，该光阑包括绝缘基体，绝缘基体上设置有中心通孔、环状电极区域和导线槽，导线槽开设在绝缘基体的上表面，从中心通孔向外延伸，环状电极区域包括若干从中心通孔向外排列的环状电极和位于相邻环状电极之间的上下贯通的环状通道，环状电极起止于导线槽的两侧壁，导线槽内设置有分别与各环状电极电连接的若干导线，环状电极的上表面以及设置了导线的导线槽内覆盖有绝缘层，绝缘层上覆盖有电子导出层。本实用新型通过环状电极区域的设置，能够在实现遮挡杂散电子的同时对电子束进行预聚焦，可以减少电磁透镜的使用，节省电子光学光路的空间。 |
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