| 具有预聚焦结构的光阑及扫描电子显微镜 |
| CN202220796937.4 2022-4-7 实用新型 |
| 2022-12-16 |
| 本实用新型公开了一种具有预聚焦结构的光阑及扫描电子显微镜，该光阑包括绝缘基体，绝缘基体上设置有贯通上表面和下表面的中心直通通孔和分布于中心直通通孔周围的若干预聚焦通孔，预聚焦通孔向中心直通通孔方向倾斜，且预聚焦通孔的上孔口圆周与中心直通通孔的中心线之间在径向上的最小距离大于或等于预聚焦通孔的下孔口圆周与中心直通通孔的中心线之间在径向上的最大距离；至少在绝缘基体的上表面以及中心直通通孔和预聚焦通孔的孔壁上镀有金属层。本实用新型提供的具有预聚焦结构的光阑，通过预聚焦通孔的指向性约束，能够在实现遮挡杂散电子的同时对电子束进行预聚焦，可以减少电磁透镜的使用，节省电子光学光路的空间。 |
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