| 扫描电镜用电磁透镜线圈冷却系统 |
| CN202221170498.2 2022-5-16 实用新型 |
| 2022-12-16 |
| 本实用新型公开了一种扫描电镜电磁透镜线圈冷却系统，包括电磁透镜线圈、冷却介质供给装置和液泵，电磁透镜线圈由中空导体绕制而成，中空导体具有外壁和位于外壁内的两端贯通的中空腔体，电磁透镜线圈的一端与冷却介质供给装置连通，由冷却介质供给装置向中空腔体内供入冷却介质，液泵连接在电磁透镜线圈和冷却介质供给装置之间，为冷却介质在中空腔体内的流动提供动力。本实用新型采用中空导体绕制线圈，并在导体的中空腔体内通入冷却介质，通过冷却介质在导体内部的流动实现温度的快速传导，能够实现线圈的有效降温与温度恒定，使得线圈的温度分布均匀，保证磁场的均匀性，进而有效保证扫描电子显微镜的成像效果。 |
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