一种检测六氟化硫分解产物的色谱仪
 
CN201811285819.1  2018-10-31  发明申请

2019-2-19
 
  本发明公开了一种检测六氟化硫分解产物的色谱仪,它包括:电源模块与MCU控制模块连接,用于给整个色谱仪供电;热导检测模块通过A/D转换模块与MCU控制模块连接,用于检测空气和六氟化硫分解产生的四氟化碳;火焰光度检测模块通过A/D转换模块与MCU控制模块连接,用于检测六氟化硫分解产生的硫酰氟、亚硫酰氟和十氟一氧化二硫;恒温控制模块与MCU控制模块连接,用于给色谱仪提供恒定的温度。本发明采用热导检测器(TCD)和火焰光度检测器(FPD)串联流程,可以检测六氟化硫中的空气、四氟化碳、硫酰氟(SO2F2)、亚硫酰氟
 
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