| 电子气三氯化硼中微量杂质四氯化硅的检测系统及方法 |
| CN201811609932.0 2018-12-27 发明申请 |
| 2019-5-17 |
| 本发明涉及气相色谱检测技术领域，公开了一种电子气三氯化硼中微量杂质四氯化硅的检测系统，包括切换阀V1、切换阀V2、定量管、第一载气气路、第二载气气路、管道、第一毛细管柱、第二毛细管柱、第一放空针阀、第二放空针阀和氦离子化检测器；定量管两端分别与切换阀V1连通，第一载气气路和第二载气气路分别与切换阀V1连通；切换阀V1与切换阀V2连通，管道、第二放空针阀和氦离子化检测器分别与切换阀V2连通；还公开了电子气三氯化硼中微量杂质四氯化硅的检测方法。本发明的检测系统可以很好地对微量与低浓度组份进行检测，检测限可达0 |
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