| 用于原子力显微镜垂直和横向校准的测试样品 |
| RU2022126684 2022-10-13 实用新型 |
| 2022-12-12 |
| 实用新型是指在材料科学中使用原子力显微镜在微米和纳米带中研究晶体和薄膜的表面结构，以及确定电子器件探针的真实几何形状的测试样品。 效果：明确确定样品的工作元件在所有方向上的尺寸，不仅在高度上。 由于一个样品上存在纳米和微米尺寸的工作元素，不仅可以在研究过程中确定补偿压电陶瓷非线性的修正因子的值，还可以在离针尖末端不同距离处还原原子力显微镜探针的真实形状，并由此增加确定探针真实几何形状的准确性。 此外，形成测试样品的颗粒的球形形状保证了用于在不同截面中的垂直方向和横向方向上反卷积的设计模型的简单性和均匀性。 |
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