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扫描电子显微镜及使用扫描电子显微镜的图像生成方法

US17830873 2022-6-2 发明申请

2022-12-8

在负电压被施加到样本上的状态下，电子束被照射到样本上。相对于具有两个检测面的检测器的取向，旋转样本以建立样本表面形状的最佳取向，所述两个检测面设置在相对于作为旋转轴的电子束的光轴旋转对称的位置上，并且基于来自由检测器检测到的反射电子的信号量来生成图像。