| 一种晶圆片用显微镜 |
| CN202222445055.6 2022-9-13 实用新型 |
| 2022-12-6 |
| 本实用新型提供了一种晶圆片用显微镜，包括显微镜主体，显微镜主体的物镜下方水平设置有载物台，载物台的顶面开设有限位槽，限位槽的内底部圆心开设有抽吸孔，限位槽的内底部开设有与抽吸孔同轴的环槽，环槽开设有多个且各自半径不同形成同心圆结构，抽吸孔与最外层环槽之间开设有直槽，直槽将各层环槽相互连通，直槽开设有多个且以抽吸孔轴心对称排列，载物台的外部设置有与抽吸孔连通的接口；晶圆片放置于载物台的限位槽内，晶圆片在限位槽内会覆盖住环槽，抽吸孔经由直槽抽吸环槽内空气使得环槽形成负压状态从而吸附住晶圆片，同时同心圆的环槽使得晶圆片受力更加均匀，晶圆片在限位槽内更加稳定不会发生脱离。 |
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