| 一种超快扫描电子显微镜系统及其使用方法 |
| CN202211124608.6 2022-9-15 发明申请 |
| 2022-12-2 |
| 本发明公开一种超快扫描电子显微镜系统及其使用方法。该超快扫描电子显微镜系统包括超快激光光路、电子枪、样品室以及信号采集模块。超快激光光路中探测激光水平地自第一光学窗口入射至电子枪内，且泵浦激光水平地自第二光学窗口入射至所述样品室内，同时，电子枪通过第一反射单元将水平入射的探测激光反射并聚焦至阴极，样品室通过第二反射单元将水平入射的泵浦激光以指定角度照射到样品上。如此，可在保证探测激光照射到阴极的位置精度以及泵浦激光照射到样品的位置精度的前提下极大地简化光路调节操作，并保证测试精度。 |
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