| 使用透射电子显微镜的检查方法和透射电子显微镜 |
| JP2021515690 2019-4-26 发明授权 |
| 2022-12-2 |
| 提供一种能够获得空心圆锥暗视场图像并可视化地显示其照射条件的透射电子显微镜。 在透射型电子显微镜中，具备：对检体照射电子束的照射部、使透过了检体的电子束成像的物镜、配置在比放置检体的位置高的位置使电子束偏转的电子束偏转器、仅使透过了检体的电子束的一部分通过的物镜可动光圈、以及偏转线圈控制部。 所述偏转线圈控制单元使用所述电子束偏转器控制所述电子束的偏转角度，使得在所述电子束以进动方式移动的同时，所述电子束以相对于光轴的预定角度照射所述样本，并且使得当所述电子束透过所述样本时产生的衍射波和/或散射波中仅具有所需角度的衍射波和/或散射波通过所述物镜可移动孔。 |
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