| 减小相差的偏转器机构及扫描电镜 |
| WOCN21097999 2021-6-2 发明申请 |
| 2022-12-1 |
| 本申请涉及减小相差的偏转器机构，包括可旋转偏转器、连接杆、固定偏转器及安装部，可旋转偏转器的旋转中轴与固定偏转器的中轴相重合，且分别安装到安装部上，可旋转偏转器与安装部转动连接，连接杆的一端与可旋转偏转器转动连接，连接杆能够带动可旋转偏转器转动，固定偏转器与安装部固定连接。通过移动连接杆，带动可旋转偏转器旋转，调节后可旋转偏转器与固定偏转器的设计夹角达到预先设计角度，以使使用本申请偏转器机构的扫描电镜获得最佳分辨率，尽量减少相差，不仅如此，旋转偏转器进行微调相较于机械安装，可旋转偏转器与固定偏转器的设计夹角具有更高的精度，有效的解决了仅靠机械安装无法保证两个偏转器安装精度的问题。 |
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