| 用于氙气中微量杂质分析的气相色谱仪 |
| CN202211385429.8 2022-11-7 发明申请 |
| 2022-12-27 |
| 本发明为一种用于氙气中微量杂质分析的气相色谱仪，包括切换阀组、色谱柱组和放空针阀组，所述切换阀组包括第一十通阀、第二十通阀、第一六通阀、第二六通阀和第三六通阀，所述色谱柱组包括第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱、第四色谱柱、第五色谱柱和第六色谱柱，所述放空针阀组包括第一针阀、第二针阀和第三针阀。本发明通过切换阀组、色谱柱组和放空针阀组实现各个不同分离通路之间的切换，实现氙气中H2、O2、Ar、N2、CO2、CO、CH4、Kr、N2O、CF4、C2F6、SF6等微量杂质的色谱分析，使氙气与其他杂质的完全分。 |
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