| 对中机构及具有其的扫描电镜 |
| WOCN21098306 2021-6-4 发明申请 |
| 2022-12-1 |
| 本申请涉及一种对中机构及具有其的扫描电镜，用于安装在扫描电镜中，对扫描电镜中的的电子束进行对中校准，包括电子枪腔体和安装腔体；电子枪腔体上开设有第一通孔，电子枪腔体朝向安装腔体的一侧设有第一凸台，第一凸台呈环状；安装腔体朝向电子枪腔体的一侧开设有安装槽，第一凸台的外侧壁与安装槽的内侧壁之间设有距离；安装槽的槽底处开设有适用于安装与电子束对准的部件的安装孔；安装腔体开设安装槽处的侧壁上移动安装有第一调节件，第一调节件贯穿安装腔体的侧壁；第一调节件设有多个，多个第一调节件沿安装槽的周向间隔分布。其实现电子束的对中调节，达到了扫描电镜的最佳状态，减小了光轴偏移对分辨率、机台关键参数指标的影响。 |
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