| 扫描探针显微镜以及控制方法 |
| CN202210517615.6 2022-5-12 发明申请 |
| 2022-11-29 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜以及控制方法。SPM(100)用于测定试样(S)。SPM(100)具备：试样台(14)，其用于配置试样(S)；探针(3)，其以与试样(S)相向的方式配置；微动机构(12)，其通过以使作用于探针(3)与试样(S)之间的原子力成为固定的方式执行反馈控制，来使探针(3)沿着试样(S)的表面相对地移动；以及信息处理装置(20)，在尽管执行了反馈控制但原子力未成为固定的情况下，信息处理装置(20)停止试样(S)的测定。 |
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