| 一种电子显微镜及其使用方法 |
| CN202211131351.7 2022-9-16 发明申请 |
| 2022-11-29 |
| 本发明涉及一种电子显微镜及其使用方法,属于电子显微镜技术领域,能够将磁透镜功能和静电透镜功能融合到一起,通过调节环形极靴的位置以及电位差实现两种透镜功能的变换,操作简单,实现方便;该电子显微镜包括:电子源;电子加速电极;物镜:设置在所述电子加速电极的下方;内极靴:设置在物镜的上壳体内端内侧面,贴合上壳体内侧面设置;外极靴:设置在物镜的下壳体内端内侧,纵向设置;运动控制装置:设置在物镜内侧且位于内极靴下方;环形极靴或偏转装置或电子探测器:设置在运动控制装置上并在运动控制装置的作用下实现上下移动;环形极靴与电压调节器电性连接;样品台:位于底部。 |