| 双压电管并排惯性驱动的旋转马达及旋转扫描探针显微镜 |
| CN202210878963.6 2022-7-25 发明申请 |
| 2022-11-29 |
| 一种双压电管并排惯性驱动的旋转马达及旋转扫描探针显微镜，属于压电定位器技术领域，解决如何设计一种低温强磁场中的扫描探针显微镜使用的双压电管并排惯性驱动的旋转马达；通过第一压电管或第二压电管做切向的惯性运动或轴向的惯性运动，带动转盘与压臂之间相对运动，从而带动转轴与转盘共轴旋转；本发明的结构紧凑，两根压电管竖立使用，减少了整个马达径向的尺寸，有利于马达在低温，强磁场的狭窄等空间的使用，压电管的控制方式简单可靠，具有极广泛的适用性；利用了压电管的轴向形变，减小了转动过程中的摩擦力，从而能产生更大的推力；整体采用无磁性设计，可以实现在磁场中任意角度旋转扫描探针显微镜。 |
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