| 用于近场光学显微镜的孔径探针的制造方法 |
| RU2022106841 2022-3-16 发明授权 |
| 2022-11-29 |
| 视野：扫描探针显微镜。 物质：发明涉及扫描探针显微术领域。 用于制造用于近场光学显微术的孔径探针的方法包括形成具有直径为1至35mcm的用于光辐射的输入孔径的通孔， 通过使用聚焦离子束的局部离子束刻蚀，在悬臂梁中形成探针的中空锥形尖端； 形成高度为500 nm至30μm的探针的中空锥形尖端， 从10到110度的锥角，通过用于离子刺激材料沉积的方法，并且锥体的底部的直径大于入口孔径的直径。 效果：本发明提供了具有最大精度、强度和分辨率以及最小损耗的近场光信号的检测，并结合在原子力显微镜模式中获得表面起伏图像的可能性。 4 Cl，5 dwg |
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