| 一种电子级三氟化氮分析系统 |
| CN202310759312.X 2023-6-26 发明申请 |
| 2023-8-11 |
| 本发明提供了一种电子级三氟化氮分析系统，包括气路系统、分离系统和检测系统；所述气路系统从左至右依次设有进样阀V1、中心切割阀V2、柱选择阀V3和中心切割阀V4，所述进样阀V1、中心切割阀V2、柱选择阀V3和中心切割阀V4依次串联；所述分离系统由四个色谱柱串联构成，用于分离CF4与NF3；优选的，所述气路系统采用四阀四柱双中心切割气路，由一个十通阀和三个四通阀组成；优选的，所述进样阀V1为十通阀，所述中心切割阀V2、柱选择阀V3和中心切割阀V4均为四通阀。本发明提供的一种电子级三氟化氮分析系统，CF4与NF |
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