| 包括栅格板合格工具的用于执行原子力显微镜检查的系统 |
| WONL22050265 2022-5-18 发明申请 |
| 2022-11-24 |
| 原子力显微镜工具(AFM)，其被配置用于接收板，所述板包括在所述板上的坐标参考图案，用于为所述AFM提供位置参考； 以及用于鉴定AFM中的坐标参考图案的装置， 包括固定的参照系， 图案编码器，用于读取参考图案； 致动台，用于平行于所述板相对移动所述板和所述图案编码器； 位移测量系统，用于测量所述板或图案编码器相对于所述固定参考框架的位移； 以及控制器，用于控制所述致动台，所述编码器和所述测量系统，所述控制器被设置为通过控制所述位移测量系统来识别所述坐标基准图案中的缺陷及其位置； 并且被安排用于存储耦合到所确定的位置的每个缺陷。 |
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