| 一种高纯乙硼烷中杂质分析仪 |
| CN202310447204.9 2023-4-24 发明申请 |
| 2023-9-19 |
| 本发明涉及精细化工技术领域，更具体地说，涉及一种高纯乙硼烷中杂质分析仪，包括储气罐、载气罐、定量管、色谱柱和检测装置；所述定量管与储气罐连接，以对储气罐内的待检测样品定量抽取；所述定量管与载气罐和色谱柱分别连接，以通过载气罐内的载气将定量管内部的待检测样品引入至色谱柱内；所述色谱柱用于对待检测样品中的乙硼烷和杂质进行分离，色谱柱与检测装置连接，以将色谱柱分离出的杂质送入至检测装置内进行检测分析处理。本发明可以有效对高纯乙硼烷气体中的杂质进行分离，并精准检测高纯乙硼烷气体中的杂质含量；其内部设有可以调节尺寸 |
微信公众号