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载气集中控制系统

CN201320763552.9 2013-11-27 实用新型

2014-5-7

本实用新型涉及气体控制装置，提供一种载气集中控制系统。包括总线管、进气管、抽真空管、排气管和输气管；进气管、抽真空管、排气管和输气管都连接到总线管上；输气管的稳压阀连接到气质联用仪，在本实用新型的载气集中控制系统的控制下可以获得速率稳定、纯度高的载气。