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半导体激光集成原子力显微镜光学探头

US17697314 2022-3-17 发明申请

2022-11-10

一种新的集成半导体激光器的原子力显微镜(AFM)光学探头，其将半导体激光器和硅悬臂AFM探头集成到坚固的易于使用的芯片中，以实现纳米级的AFM测量，光学成像和光谱学。