| 显微镜的光路系统 |
| CN202211031494.0 2022-8-26 发明申请 |
| 2022-11-4 |
| 本公开描述了一种显微镜的光路系统，包括照明模块、分光模块、扫描模块、以及成像模块，照明模块包括第一偏振单元和光源；分光模块配置为接收来自扫描模块的反射光束并将反射光束反射至成像模块；扫描模块配置为接收照明光束并将照明光束出射至待测物且接收来自待测物的反射光束并将反射光束出射至分光模块，扫描模块包括沿照明光束的传播方向依次设置的具有透光孔的转盘、第二偏振单元、以及显微物镜；成像模块包括传感单元和第三偏振单元，传感单元配置为接收透过第三偏振单元的反射光束，第一偏振单元的偏振方向和第三偏振单元的偏振方向不同。根据本公开，能够提供一种能够降低光路中的杂散光以提高对待测物的测量精度的光路系统。 |
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