| 基准标记设计，基准标记，扫描探针显微镜装置和校准探针针尖位置的方法。 |
| NL2028082 2021-4-28 发明授权 |
| 2022-11-3 |
| 本发明涉及基准标记设计，基准标记，扫描探针显微镜装置和校准探针尖端位置的方法。 基准标记设计可以用作基准标记以提供定位基准，并且包括至少一个第一基准图案，该至少一个第一基准图案包括至少一个第一基准元件，用于使得能够确定基准标记相对于第一传感器的相对位置。 所述第一传感器被配置为以第一尺寸比例操作。 基准标记还包括第二基准图案，该第二基准图案包括标记的规则排列，该标记被构造或成形为在其中编码表面坐标信息。 这使得能够确定每个标记相对于第二传感器的相对位置，所述第二传感器被配置为在小于所述第一尺寸刻度的第二尺寸刻度上操作。 [图4] |
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