| 在扫描探针显微镜系统中校准光学显微镜的方法，校准结构和扫描探针显微镜装置 |
| WONL22050228 2022-4-28 发明申请 |
| 2022-11-3 |
| 本发明涉及一种在扫描探针显微镜系统中校准光学显微镜的方法。 所述光学显微镜被配置为提供用于将探针针尖定位在衬底的表面上的参考数据。 使用校准结构来执行校准，所述校准结构是空间结构，其包括相对于z轴处于不同z水平的特征，所述z轴垂直于所述衬底的表面。 该方法包括利用光学显微镜获得校准结构的至少一部分的至少两个图像的步骤。 所述至少两个图像被聚焦在所述Z级的至少两个不同的级中。 该方法还包括确定校准结构在垂直于z轴的方向上的横向偏移的步骤，如在聚焦在至少两个不同水平上的至少两个图像中所描绘的。 本发明还涉及校准结构，衬底载体和扫描探针显微镜装置。 |
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