| 一种制备扫描电容显微镜试片的方法 |
| TW110135939 2021-9-28 发明授权 |
| 2022-11-1 |
| ?本发明乃揭示一种制备扫描电容显微镜试片的方法其步骤包括：提供一样品该样品内部包括至少一待分析标的物；利用人工研磨方式自该样品的一边缘朝含有该待分析标的物的目标区逐渐研磨进去并且在距离一通过该目标区中的该至少一待分析标的物的结构中心的纵向截面1处停止研磨形成一研磨停点面；利用搭配扫描电子显微镜之一电浆式聚焦离子束对该研磨停点面进行切削处理并自该研磨停点面朝向该目标区前进并且在距离该纵向截面2处停止切削处理形成一切削停点面其中0＜2＜1；以及利用人工研磨方式抛光该切削停点面并逐渐去除该样品位在该纵向截面与该切削停点面之间的部分裸露出该纵向截面完成一扫描电容显微镜试片的制备。; 。 |
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