| 光声测量设备，光声测量方法，光学显微镜的改型光声测量单元 |
| JP2021068869 2021-4-15 发明申请 |
| 2022-10-27 |
| “挑战”提供一种光声测量设备，其能够非接触地测量细胞样样品的机械性能， 光声测量装置11包括脉冲光源21，收集激励单元31，扫描单元41，光学干涉仪51和机械特性值计算单元62。 脉冲光源21产生激发光L1，激发光L1产生光声波W1。 收集激励器设置在样品支架的非支撑表面侧，并且激励光聚焦在样品支架中的激励点处，并且施加振动。 扫描单元41使激励点P1在表面方向上移动。 光学干涉仪51包括激光光源53和光电转换单元52。 激光光源53产生到达非支撑表面3b侧的测量光L2。 光电转换单元52从测量光L2的反射光L3和参考光之间的干涉中检测微小振动，并执行光电转换。 机械性能值计算单元62基于来自光学干涉仪51的数据计算测量点P2的机械性能值。 |
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