| 扫描显微镜单元，扫描显微镜以及扫描显微镜单元的校准方法 |
| WOJP22000701 2022-1-12 发明申请 |
| 2022-10-27 |
| 该扫描显微镜单元包括：光源，其输出照射光； 光检测器，用于检测根据照射光对观察目标的照射而从观察目标产生的观察光； 使照射光扫描观察目标并将观察光导向光检测器的MEMS反射镜； 扫描透镜，其将由MEMS镜扫描的照射光引导至显微镜光学系统，并将由显微镜光学系统形成图像的观察光引导至MEMS镜； 以及框架构件，其形成为框状以限定孔径，并且其设置在扫描透镜的显微镜光学系统侧，使得照射光和观察光穿过孔径。 所述框架构件具有校准部分，所述校准部分设置在限定所述孔径的侧部处，并且所述校准部分根据所述照射光的进入而产生包括所述光检测器的灵敏度波长的校正光。 |
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