| 校准方法、扫描电镜、控制装置和存储介质 |
| CN202210707486.7 2022-6-21 发明申请 |
| 2022-10-21 |
| 本申请公开了一种校准方法、扫描电镜、控制装置和存储介质。本申请实施方式提供的种扫描电镜参数的校准方法包括：采集位于样品台上的标准样品在不同聚焦电流下的图像；读取所述图像的信噪比；记录在所述信噪比为最高值对应的聚焦电流值；获取当前实际工作距离；基于所述实际工作距离，将工作距离与所述聚焦电流值拟合关联得到第一关系；基于所述第一关系校准所述扫描电镜。如此，利用本申请实施方式提供的校准方法可对扫描电镜的工作距离参数进行精确校准，使得扫描电镜能够达到自动聚焦功能，从而可实现对样品尺寸的精确测量和最优成像，且该校准方法具有通用性，可适用于所有的扫描电镜。 |
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