| 一种扫描电镜用样品台 |
| CN202022987863.6 2020-12-10 实用新型 |
| 2021-8-3 |
| 本实用新型公开了一种扫描电镜用样品台，属于扫描电镜测试技术领域，包括圆柱形的样品台本体；在所述样品台本体的上表面开设有N组滑道；每组滑道包括位于同一直线上的两条滑道，每条滑道的一端位于样品台本体的侧面，每条滑道的长度小于样品台本体的半径；所述直线与样品台本体的一条直径重合；在每条滑道上安装有一根立柱，所述立柱包括与所述滑道配合运动的滑块、固定于滑块上表面的立杆；在所述立杆上套接有压片；在所述立杆上开设有与螺母配合的外螺纹，所述滑道的轴截面成凸字形。本实用新型不需要碳胶带固定样品，便于取放样品，减小薄片、易碎片的碎片风险。压片与样片上表面直接接触，改善样品的导电性，利于导电性差样品的测试。 |
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