| 一种用于电解法制备NF3的快速净化分析系统 |
| CN201920989125.X 2019-6-19 实用新型 |
| 2020-6-26 |
| 本实用新型公开了一种用于电解法制备NF3的快速净化分析系统，包括气袋(1)、缓冲瓶(2)、碱液瓶(3)，其特征是碱液瓶上装有分液漏斗(4)，碱液瓶通过气体采样泵(5)连接三通(6)；三通(6)一端通过过滤器(7)、气体干燥器(8)连接于气相色谱仪(9)，三通(6)另一端通过针阀(11)和第一转子流量计(12)连接于气体回收管线；气相色谱仪(9)通过第二转子流量计(10)连接于气体回收管线；氮气瓶(13)依次通过减压阀(14)、球阀(15)、第三转子流量计(16)连接于气体干燥器(8)的反向吹扫气进口端，气 |
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