| 一种基于探针移动扫描的原子力显微镜光机系统 |
| CN202220897432.7 2022-4-18 实用新型 |
| 2022-9-6 |
| 本实用新型提供一种基于探针移动扫描的原子力显微镜光机系统，包括：基座，用以形成支撑结构；样品台，用以放置待测样品；原子力显微镜机构，其包括扫描头、光学观察组件；所述扫描头用以扫描测量所述待测样品，所述光学观察组件用以观察所述扫描头与所述待测样品；Y轴驱动机构，用以驱动所述样品台前后运动；Z轴驱动机构，用以驱动所述样品台升降运动；X轴驱动机构，用以驱动所述原子力显微镜机构左右运动。在扫描时，样品台保持不动，待测样品的种类、尺寸大小、重量不受限制，适用于超大的样品检测；同时由于待测样品不受限制，可拓展性强，光机系统本体非常便于与多种设备联用实现原位检测扩展了光机系统本体的应用范围。 |
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