| 一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置 |
| CN202121940539.7 2021-8-18 实用新型 |
| 2022-5-3 |
| 本实用新型公开了一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，属于电子技术领域，包括密封室，所述密封室上方配合连接有密封盖，所述密封室与密封盖之间设置有门阀，所述密封盖顶部设置有透镜，所述透镜下方设置有消像散器，所述密封室两侧安装有伸缩机构，所述伸缩机构一端安装有防反光板，所述密封室底部设置有底座，所述密封室外部安装有万能表，所述万能表与底座之间设置有陶瓷导线。本实用新型该装置在使用过程中，能够进行对电子束电流进行一个有效的测量效果，且内部的测量数据准确，避免造成实验时的数据产生偏差，能够正常投入使用。 |
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