| 电极组件，使用该电极组件的电子设备/装置，以及使用该电极组件的带电粒子束例如电子显微镜的设备 |
| US17302820 2021-5-12 发明授权 |
| 2022-2-22 |
| 本发明提供一种电极组件，其包括围绕形成非圆柱形通道空间的主轴布置的两个或更多个电极。 一般的电子设备/装置，特别是带电粒子束的设备，例如电子显微镜，可以使用电极组件在非圆柱形通道空间内产生优化的电场图案。 当电极组件用作磁性物镜中的光束偏转器时， 在光束通过中心通道空间之后，中心通道空间内的电场可以与磁场共同优化以减小像差，例如失真，场曲率，像散和色差。 |
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