| 用于基于分辨率和灵敏度增强的原子力显微镜的红外光谱的方法和装置 |
| US17171652 2021-2-9 发明申请 |
| 2021-6-3 |
| 用于获得空间分辨率低至几纳米的极高灵敏度化学组成图的方法和装置。 在一些实施方案中，使用三种技术的组合来创建这些化学组成图：(1)用IR辐射照射样品，所述IR辐射被调谐到样品中的吸收带； 和(2)优化被调谐到特定目标材料的机械耦合效率； (3)优化调谐到特定目标材料的谐振检测。 通过这些步骤的组合，可以获得(1)基于唯一IR吸收的化学组成图； (2)通过极短距离尖端-样品相互作用提高的空间分辨率； 和(3)调谐到特定目标材料的谐振放大。 在其它实施例中，可以利用这些步骤中的任何两个步骤，并且仍然实现空间分辨率和/或灵敏度的显著改进。 |
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