| 一种新型检测器测试高纯气的色谱仪器 |
| CN202022826685.9 2020-12-1 实用新型 |
| 2021-7-27 |
| 本实用新型公开了一种新型检测器测试高纯气的色谱仪器，包括载气口、与所述载气口相连通的纯化器、与所述纯化器相连通的流量限制器、与所述流量限制器相连通的渗透管、与所述渗透管相连通的等离子检测器、与所述纯化器相连通的换向阀、与所述换向阀相连通的样品进入口、与所述换向阀相连通的气相色谱柱，所述气相色谱柱与所述等离子检测器相连接，利用等离子检测器和特殊的阀方案能够对高纯氪气和氙气中的杂质气体进行测试。 |
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