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电子显微镜和防止样品污染的方法

US17718976 2022-4-12 发明申请

2022-10-13

一种防污染照射装置，包括产生单元和反射镜单元。产生单元产生激光束。反射镜单元具有用于反射激光束的镜面。在镜面上反射的激光束被施加到设置在物镜内部的样品上。激光束由脉冲串组成。一旦在观察样品之前将激光束施加到样品上，就可以在预定的后续时间内防止污染物在样品上沉积。