| 空间相干控制方法及反射式空间相干可变离轴数字全息显微镜 |
| KR1020210189075 2021-12-27 发明申请 |
| 2022-7-5 |
| 本发明涉及一种空间相干控制方法和应用该方法的反射式空间相干可变离轴数字全息显微镜。 本发明， 在反射式空间相干可变离轴数字全息显微镜中，该显微镜包括用于制作部分相干光源的光源和用于使用从光源部分产生的光测量样品的测量部分， 光源部分，其中来自激光光源的光入射通过快门(快门)以线性偏振，线性偏振器； 一个单波长板，从线性偏振器射出的光入射到该单波长板中，并且具有1/2波长的光炉差； 第一可变中性密度(ND)滤光器，其中通过1/2波长板的光入射并调节强度值； 扩束透镜，其放大通过第一可变ND滤光器后从反射镜部分反射的光； 第一准直透镜，使扩展光在扩展透镜中平行； 电动旋转漫射器，其中来自第一聚光透镜的平行光入射通过第一聚焦透镜并旋转和散射； 其特征在于，它包括第二聚光透镜，从电旋转漫射器表面散射的光在第二聚光透镜中聚光，使其平行于第二聚光透镜入射。 测量部分包括：在传输从第二聚焦透镜射出的光的光纤的端部展开的光在第三聚焦透镜中会聚并在反射镜中反射并通过第三聚焦透镜入射， 分为参考光和目标光，但通过第一非偏振光束分割的光为参考光，从第一非偏振光束分割反射的光为目标光子，第一非偏振光束分割； 第二可变ND滤光器，其中来自第一非偏振分束器的参考光入射通过第一物镜，反射的参考光通过第一物镜传输到第一非偏振分束器； 第二物镜，其将来自第一非偏振分束的物体光照射到测量样品，并将来自测量样品的反射和散射的物体光透射到第一非偏振分束； 第二非偏振分束器，其将从第一非偏振分束器透射的物体光反射到管透镜，并将从第一非偏振分束器反射的参考光反射到管透镜； 从第二非偏振分束反射的物光和参考光形成在包括成像元件的管透镜中，成像元件形成全息图。 |
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