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具有改进的真空开关单元图像充电效果的场发射扫描电子显微镜

KR1020200184039 2020-12-27 发明申请

2022-7-5

根据本发明的电场发射扫描电子显微镜200是将真空开闭单元100的O形环61b安装在轴杆61的上表面上，并且增大上表面的下表面的曲率半径。上板50的表面与通孔55相交的部分为2-3mm，解决了现有真空启闭机中出现的图像带电现象，解决了O型圈撕裂的问题。