| 部分干涉可变波长在线数字全息显微镜 |
| KR1020210188945 2021-12-27 发明申请 |
| 2022-7-5 |
| 本发明涉及一种使用部分相干波长可变(直列)数字全息显微镜的部分相干波长可变直列数字全息显微镜，该数字全息显微镜使用部分相干光源，并通过拍摄具有粗糙度的凸块来数字再现该凸块，从而测量该凸块的高度 表面的每一个具有2个波长。 本发明的部分相干波长可变的直列(直列)数字全息显微镜包括用于产生部分相干光源的光源和用于使用从光源产生的光测量样品的测量单元， 其中来自激光光源的光通过用于相干控制的透镜入射，使光扩展； 电动旋转漫射器，其中来自扩展透镜的光通过第一聚焦透镜入射并旋转和散射； 从电动旋转漫射器的表面散射的光被会聚，包括：第二聚光透镜； 使其平行于第二聚焦透镜入射。 测量部分为线偏振片， 其中在传输从第二聚焦透镜发出的光的光纤的端部伸出的光在第二聚焦透镜中会聚并聚焦入射到第三聚焦透镜中，第三聚焦透镜垂直偏振； 1/2波长板，其中从线性偏振器出射的光入射并偏振45度； 从1/2波长板变为45度偏振的光通过非偏振分束入射并被分成两束， 这两束光中的一束是在偏振方向上以0度透射和偏振的参考光，另一束是在偏振方向上以90度反射和偏振的目标光子，偏振分束； 来自偏振分束器的物光会聚后成为平行光入射到测量样品中，从测量样品反射的物光再次入射，通过偏振分束器透射到非偏振分束器； 来自偏振分束器的参考光被会聚成平行光， 然后通过第四聚焦透镜聚焦到可变ND(中性密度)滤光片的表面上， 并且从可变ND滤光器表面反射的光通过第四聚焦透镜入射并且通过偏振分束透射到非偏振分束器，使得第二物镜包括： |
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