| 扫描透射电子显微镜 |
| JP2020117828 2020-7-8 发明申请 |
| 2022-1-21 |
| “挑战”我们提供了一种扫描透射电子显微镜，其可以使用两个检测器来检测透射通过样品的电子束，而不需要移动两个检测器。 [解决手段]扫描透射电子显微镜100包括发射电子束的电子源， 聚焦电子束并照射样品的照射透镜系统11， 第一偏转器12，用于用电子束扫描样品； 使透过样品S的电子束偏转的第二偏转器15，检测透过样品S的电子束的第一检测器20和检测透过样品S的电子束的第二检测器30； 第二偏转器15在电子束进入第一检测器20的第一状态和电子束进入第二检测器30的第二状态之间切换。 “选择图”图3 |
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