| 基于机器学习的物体检测技术的原子力显微镜自主运行 |
| KR1020200112538 2020-9-3 发明申请 |
| 2022-1-21 |
| 本发明的原子力显微镜包括：样品台，其接受样品； 悬臂，设置在所述样品上，并包括探针； 用于将激光束扫描到悬臂中的激光器； 光检测器，用于接收从悬臂反射的激光束的输入； 第一照相机，用于拍摄样品和悬臂； 第二照相机，用于拍摄悬臂和从激光器注入的激光光斑； 并且可以包括处理器，该处理器电连接到第一相机，第二相机和光电检测器，并且处理从第一相机，第二相机和光电检测器获得的数据。 本发明的原子力显微镜的操作方法包括：通过第一摄像机检测悬臂和样品的位置； 调整样品的位置； 通过第二摄像机检测激光器和悬臂的位置； 对准激光器； 通过光电检测器检测激光束的位置； 它可以包括对准光电检测器的位置的步骤。 |
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