| 显微镜 |
| DE102020118533 2020-7-14 发明申请 |
| 2022-1-20 |
| 本发明涉及一种显微镜(20)，其具有(a)光学显微镜单元(34)，该光学显微镜单元具有(i)用于获取样品(13)的样品图像(23)， (ii)光源(10)， (iii)物镜(5)，用于将光源(10)的光(24)在光束路径(S)中引导到样品(13)；和(iv)光学表面检测器(12)，用于在表面检测器(12)的视场(S)中拍摄样品(13)的图像。 根据本发明， (b)设置扫描探针单元(28)， (i)具有至少一个悬臂(21)，该悬臂具有用于光栅化样品(13)的样品表面(26)的测量尖端(22)，和(ii)至少一个用于移动悬臂(21)的悬臂驱动器(30)， (iii)其中悬臂(21)在静止位置和测量位置是可移动的，在静止位置悬臂(21)不在光束路径(S)中，在测量位置悬臂(21)的悬臂头在光束路径(S)中。 |
微信公众号