| 透射电镜样品杆真空预存储设备 |
| CN202221727428.2 2022-7-6 实用新型 |
| 2022-10-21 |
| 本申请涉及透射电镜样品杆真空预存储设备，真空存储腔室分别连接一个石英玻璃管及一个透射样品杆转接法兰，且各个真空存储腔室一一对应地通过各个电磁阀密封连接真空泵组；透射样品杆转接法兰密封连接透射样品杆，以使真空存储腔室通过透射样品杆转接法兰与透射样品杆密封连接。在不用时或者暂存时将透射样品杆存放，需要使用时将透射样品杆取出，插入透射电镜的相应位置中即可，而各真空存储腔室分别通过各电磁阀单独控制真空度，因此可以独立工作互不干扰；有利于保证透射电镜的透射样品杆与大气中水汽及污染物最大程度的隔绝，有利于使得电镜样品抽真空时间大大缩短，有利于减少对电镜真空腔室及相关部件的污染，保证了电镜系统的使用寿命。 |
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