| 小型光学显微镜，包括该光学显微镜的计量装置和包括该计量装置的晶片定位计量装置 |
| WONL22050200 2022-4-12 发明申请 |
| 2022-10-20 |
| 本发明提供一种光学显微镜(1)，其被配置为在物平面(5)中的物体的像平面(3)中提供图像。 该光学显微镜沿光轴(6)从物平面到像平面依次包括第一透镜(7)，第二透镜(11)和第三透镜(14)。 第一透镜(7)具有位于物平面侧的第一透镜表面(8)和位于像平面侧的第二透镜表面(9)，第一透镜表面具有第一半反射涂层(10)。 第二透镜(11)具有位于物平面侧的第三透镜表面(12)和位于像平面侧的第四透镜表面(13)。 第三透镜(14)具有位于物平面侧的第五透镜表面(15)和位于像平面侧的第六透镜表面(16)，第六透镜表面具有第二半反射涂层(17)。 该光学显微镜是紧凑的，并且在整个视场上提供具有低失真和低场曲率的衍射限制性能(MTF)。 |
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