| 一种面阵式超精密彩色共聚焦显微镜三维测量装置和方法 |
| CN202210898541.5 2022-7-28 发明申请 |
| 2022-10-18 |
| 本发明提供一种面阵式超精密彩色共聚焦显微镜三维测量装置，包括面阵式多焦点多窄带波段复合照明光源模块、纵向色散增强型光学显微成像模块、多窄带波段图像获取模块、图像分析与系统控制模块；来自面阵式多焦点多窄带波段复合照明光源模块的光照射到待测样品上，从待测样本反射的光经过纵向色散增强型光学显微成像模块后进入多窄带波段图像获取模块，所述多窄带波段图像获取模块获取的图像信息进入到图像分析与系统控制模块。本发明提供的方法，能够实现高精度、大范围、高效率的微观三维形貌检测。 |
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