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扫描电子显微镜

JP2021524585 2019-6-6 发明授权

2022-10-18

扫描电子显微镜包括被配置为测量从样品发射的二次电子的二次电子自旋极化的自旋检测器，以及被配置为分析由自旋检测器测量的二次电子自旋极化数据的分析装置。分析装置通过计算相邻像素的二次电子自旋极化数据的差来评估样品中的应变。